Cz硅单晶炉用高频开关电源的控制系统及控制方法

摘要

本发明公开的Cz硅单晶炉用高频开关电源的控制系统及控制方法，将自适应模糊控制与滑模变结构控制相结合，针对Cz硅单晶炉用高频开关加热电源，设计基于自适应模糊滑模变结构控制方法的电源控制器，发挥模糊控制和滑模变结构控制各自的优势，进一步提高系统的动态性能，对输入电压或者负载扰动具有现象较好的鲁棒性，减轻或避免了一般滑模出现的抖振。