用于大尺寸硅片镀膜的石墨舟舟片及石墨舟

摘要

本实用新型公开了一种用于大尺寸硅片镀膜的石墨舟舟片，其设有多个卡槽；每个卡槽的周围均设有用于放置硅片的卡点，卡点包括靠近卡槽第一侧部设置的第一卡点、靠近卡槽第二侧部设置的第二卡点和靠近卡槽底部设置的第三卡点；第一侧部靠近管式炉炉口端，第二侧部靠近管式炉炉尾端；石墨舟舟片设有至少两个第一卡点，至少一个第二卡点和至少一个第三卡点。相应的，本实用新型还公开了一种石墨舟。实施本实用新型，可有效改善大尺寸硅片的绕镀现象，提升镀膜质量。