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电镀槽电流屏蔽装置及电镀系统

摘要

一种电镀槽电流屏蔽装置,包括至少两个安装架、第一屏蔽板、第二屏蔽板、第三屏蔽板和第四屏蔽板,安装架包括第一安装架第二安装架,第一屏蔽板、第二屏蔽板、第三屏蔽板和第四屏蔽板固定连接于第一安装架与第二安装架之间,第一屏蔽板与第二屏蔽板沿电镀片倾斜对称设置,第三屏蔽板与第四屏蔽板沿电镀片倾斜对称设置,第一屏蔽板与第三屏蔽板间隔设置,第二屏蔽板与第四屏蔽板间隔设置,第一屏蔽板、第二屏蔽板、第三屏蔽板和第四屏蔽板上设有通孔,电镀片包括第一侧边和第二侧边,第一屏蔽板至电镀片的间距逐渐增大,第三屏蔽板至电镀片的间距逐渐减小。本实用新型的电镀槽电流屏蔽装置能减小电流边缘效应。本实用新型还涉及一种电镀系统。

著录项

  • 公开/公告号CN213507259U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-06-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市崇辉表面技术开发有限公司;

    申请/专利号CN202022483874.0

  • 发明设计人 罗小平;郑建国;

    申请日2020-10-30

  • 分类号C25D17/00(20060101);

  • 代理机构31264 上海波拓知识产权代理有限公司;

  • 代理人周景

  • 地址 518105 广东省深圳市宝安区松岗镇江边三工业区创业六路

  • 入库时间 2022-08-22 22:24:08

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-03-04

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C25D17/00 专利号:ZL2020224838740 变更事项:专利权人 变更前:深圳市崇辉表面技术开发有限公司 变更后:崇辉半导体(深圳)有限公司 变更事项:地址 变更前:518105 广东省深圳市宝安区松岗镇江边三工业区创业六路 变更后:518105 广东省深圳市宝安区松岗街道江边社区江边第三工业区创业六路2号厂房1栋101

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

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