公开/公告号CN213466523U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 福鑫福电子科技(深圳)有限公司;
申请/专利号CN202020453805.2
发明设计人 饶淙铭;
申请日2020-03-31
分类号A61N5/06(20060101);H02J7/00(20060101);H01R31/06(20060101);H01R27/00(20060101);
代理机构44224 广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人刘欣
地址 518100 广东省深圳市龙华区大浪街道高峰社区展润商务大厦911
入库时间 2022-08-22 22:20:52
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机译: 激光照射台,激光照射光学系统,激光照射装置,激光照射方法以及半导体装置的制造方法
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