一种新型单晶炉副室自动卡接装置

摘要

本实用新型公开了一种新型单晶炉副室自动卡接装置，包括副室，所述副室底部的法兰边设置通孔，并且上平面连接活动盘，所述法兰边的通孔相对应活动盘处设置葫芦孔，所述活动盘固定L形连接块的一端，所述连接块另一端连接气缸伸缩端，所述气缸固定端安装于副室炉壁上。本实用新型通过活动盘将副室与旋板阀可选择连接与脱离，并且通过气缸自动控制，大大简化了副室与旋板阀的连接结构，提高了连接和脱离效率。