公开/公告号CN213455825U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 歌尔微电子有限公司;
申请/专利号CN202022724795.4
申请日2020-11-23
分类号G01H3/00(20060101);G01L1/02(20060101);G01L7/18(20060101);B81B7/02(20060101);B81B7/00(20060101);
代理机构44287 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所;
代理人谢阅
地址 266100 山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
入库时间 2022-08-22 22:12:49
机译: MEMS传感器,MEMS传感器系统以及制造MEMS传感器系统的方法
机译: MEMS传感器,MEMS传感器系统以及制造MEMS传感器系统的方法
机译: MEMS传感器驱动装置,MEMS传感器驱动方法以及使用该MEMS的有源传感器