一种MEMS芯片唯一标识符装置

摘要

一种MEMS芯片唯一标识符装置，包括MEMS芯片，MEMS芯片敏感元件区域，MEMS芯片唯一标识符电阻，MEMS芯片唯一标识符电阻焊盘；MEMS芯片敏感元件区域有多种结构；MEMS芯片敏感元件区域周围制作的电阻条；MEMS芯片唯一标识符电阻的焊盘，用于电阻条的电学连接。本实用新型的优点：永久保存在MEMS芯片中的唯一标识符。能利用唯一标识符提高可追溯性和可测试性。使用高电阻率/方块电阻材料来限制电阻尺寸，能使唯一标识符使芯片总体尺寸不受影响。MEMS芯片中的唯一标识符中涉及到的专用集成电路ASIC，既能专门设计，也能通过共用MEMS产品中现有专用集成电路实现，降低成本。