四氯化硅制备系统

摘要

本实用新型公开一种四氯化硅制备系统，四氯化硅制备系统包括四氯化硅反应器、文丘里洗涤器以及洗涤除尘塔，所述四氯化硅反应器包括相连通的第一进料管、反应塔体以及第一出料管，所述文丘里洗涤器包括相连通第二进料管、文丘里洗涤管以及第二出料管，所述洗涤除尘塔包括第三进料管以及洗涤塔，所述第一出料管与所述第二进料管连通，所述第二出料管与所述第三进料管连通。本实用新型提供的四氯化硅制备系统有效解决了再制备四氯化硅时除尘效率较低导致生成物中含有杂质的问题。