公开/公告号CN213348333U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-06-04
原文格式PDF
申请/专利权人 湖北源洹实业投资有限公司;
申请/专利号CN202021027826.4
申请日2020-06-08
分类号B01D53/26(20060101);B01D5/00(20060101);B01D53/00(20060101);C01B7/07(20060101);
代理机构51298 成都华复知识产权代理有限公司;
代理人庞启成
地址 444100 湖北省宜昌市当阳市坝陵办事处锦屏大道东段9号
入库时间 2022-08-22 22:00:53
机译: 一种无水氯化氢气体的纯化方法
机译: 一种无水氯化氢气体的纯化方法
机译: 在极端干燥的氧气气氛中或在添加氯化氢气体的氧气气氛中,在由硅或另一种可氧化材料组成的基板晶片上制造氧化物层的方法