一种用于制备真空光感键合微流控生物芯片的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于制备真空光感键合微流控生物芯片的装置。在已制备有微流控结构的石英基底顶面边缘和石英盖板底面边缘分别制作环形粘合槽，石英盖板顶面开设两个导流导气孔，导流导气孔下端连通盖板粘合槽；将石英基底与石英片盖板上下对准贴合，盖板粘合槽与基底粘合槽连通形成粘合通道，石英基底与盖板粘合槽围成中间区域间的间隙(微流控通道)与石英基底表面的微流控结构形成微流控结构区。本实用新型装置能解决热压键合封装中由于高压、高温产生气泡、胶体外溢到结构区和基底损坏的键合缺陷，还用于微流控生物芯片的快速封装制备。