公开/公告号CN212988789U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-04-16
原文格式PDF
申请/专利权人 中建材光电装备(太仓)有限公司;
申请/专利号CN202021905751.5
申请日2020-09-03
分类号G01M13/02(20190101);G01B5/14(20060101);G01B5/08(20060101);G01B5/02(20060101);G01B5/252(20060101);G01B5/20(20060101);G01B5/00(20060101);
代理机构32385 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙);
代理人刘巍
地址 215000 江苏省苏州市太仓港港口开发区长江大道189号
入库时间 2022-08-22 20:53:54
机译: 用于输送线的对准装置,因为该设备至少包括用于带式输送机的疯狂辊和一组可操作地配置为安装疯狂的辊式输送机结构的框架;以及用于输送线的杂质ISAR的方法。
机译: 真空基板处理量处理系统包括真空室,位于真空室内的基板处理装置,以及用于输送板状基板的输送装置,该输送装置包括多个输送辊。
机译: 用于将板状基材输送到细长真空处理系统中的设备,包括横向于真空处理系统的纵向延伸方向延伸的输送辊和支撑辊