中空阴极中和器及离子源装置

摘要

本申请涉及一种中空阴极中和器和离子源装置，中空阴极中和器包括：阴极管、后端部和前端部；所述后端部包括后固定座以及一端与该后固定座连接的筒体；所述阴极管置于所述筒体内部，且通过安装组件安装在所述后固定座内；所述前端部包括前固定座、端盖和维持片，所述前固定座套在所述筒体的另一端上，所述阴极的管口与所述维持片上的圆孔对准；所述后固定座内置有连接所述阴极管的通气管道，所述后固定座与前固定座通过定位片进行固定连接。本申请的中空阴极中和器及离子源装置，在安装时便于将阴极的管口与维持片上的圆孔对准，从而降低安装要求，简化了安装流程。