一种具有可调节过渡真空腔的真空炉

摘要

本实用新型涉及真空设备技术领域，公开了一种具有可调节过渡真空腔的真空炉，包括N个真空炉壳体，其中N为大于2的自然数，所述每个壳体的形状相同，所述每个壳体上设有与所述壳体密封配合的壳盖，其中第N‑1个壳体的容积大于第N个壳体的体积，所述第N个壳体的外表面通过第一支撑板与所述N‑1个壳体的内表面连接，所述N‑1个壳体的内表面设有与所述支撑板相配合的卡槽A和卡槽C，所述第N个壳盖的外表面设有支撑板B，所述第N‑1个壳盖的内表面设有与所述第二支撑板相配合的卡槽B，所述每个壳体分别连接有真空泵，所述第N个壳体外设有加热装置，通过多个壳体组合，解决了现有的连续真空炉不能调节过渡真空腔的问题。