衍射光学元件、TOF深度传感器、光学系统及装置

摘要

本申请涉及一种衍射光学元件、TOF深度传感器、光学系统及装置。上述衍射光学元件，通过在基底上形成若干个岛状结构，并且每一个所述岛状结构在所述基底上的投影覆盖至少四个像素区域，确保了衍射光学元件的微结构中没有孤岛结构，即确保了衍射光学元件的微结构中没有特别小的凸起结构，有利于通过纳米压印光刻技术进行大量的复制。上述衍射光学元件抑制了孤立岛状结构的产生，即确保了每一个岛状结构的尺寸，进而确保了所述岛状结构离模时不易残留孤岛结构并且不易被拔除。