一种DLC涂层沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种DLC涂层沉积设备，包括炉体、管道、抽风机、炉门和送风机，所述炉体一侧的外壁上安装有炉门，且炉门的一端与炉体相铰接，并且炉门一侧的炉体内部安装有加热管，所述加热管的一端与炉体内壁相铰接，且加热管一侧的炉体内部安装有铜棒，并且铜棒的两端皆与炉体内壁固定连接，所述铜棒的外壁上设有辅助阳极，且辅助阳极一侧的炉体内部设有转架车，并且转架车的两端皆与炉体内壁固定连接，所述转架车一侧的炉体内部安装有两组靶座，且靶座的一端延伸至炉体的内部，并且靶座的内部设有驱动机构。本实用新型不仅实现了沉积设备高效快速的沉积涂层，解决了DLC打底需要磁控溅射的问题，而且提高了含碳气体的离化率。