法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-26
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01C 9/00 专利号:ZL2020207975658 申请日:20200513 授权公告日:20210115
专利权的终止
机译: 用于测试工具轴向跳动的调节,测量和/或工具夹紧装置,具有非接触式测量单元测量工具和传感器单元,该传感器单元用于接触工具并通过测量单元测量变量
机译: 负载端口调整工具,FOUP测量工具,FOUP晶圆平面测量工具,运动销形状评估工具,运动销位置评估工具以及使用它们的调整/测量/评估方法
机译: 测量工具,特别是用于测量牵引工具的导向长度的工具,以及以类似方式测量工具等的阶梯孔的工具。