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光电二极管、光感测组件及光电二极管的制造方法

摘要

本案揭露一种光电二极管、光感测组件及光电二极管的制造方法。光电二极管的N型半导体层与本质半导体层分别包含N型非晶型铟镓锌氧化物与本质非晶型铟镓锌氧化物,且本质非晶型铟镓锌氧化物的含氧量高于N型非晶型铟镓锌氧化物的含氧量。

著录项

  • 公开/公告号CN102738260B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-08-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 元太科技工业股份有限公司;

    申请/专利号CN201210097195.7

  • 发明设计人 舒芳安;蔡耀州;辛哲宏;

    申请日2012-03-30

  • 分类号H01L31/032(20060101);H01L31/105(20060101);H01L31/20(20060101);G01J1/42(20060101);

  • 代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;

  • 代理人徐金国

  • 地址 中国台湾新竹市科学工业园区力行一路3号

  • 入库时间 2022-08-23 09:43:27

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-08-10

    授权

    授权

  • 2012-12-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/032 申请日:20120330

    实质审查的生效

  • 2012-10-17

    公开

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