一种半导体湿法清洗设备的智能化改造系统

摘要

本实用新型公开了一种半导体湿法清洗设备的智能化改造系统，涉及半导体湿法清洗设备技术领域。本实用新型包括设备本体、若干远程报警器和穿戴接收装置，设备本体包括机体和若干池体，机体上设有PLC控制器，机体上设有信号触发器，信号触发器与PLC控制器之间电性连接有中间继电器。本实用新型通过将实时监控与可穿戴的移动终端结合，实现对清洗设备状态的实时监控，在设备运行到关键节点时通过主动发出信息及时提醒作业人员，能有效帮助操作人员监控工艺关键节点、知晓设备的实时状态，降低化学试剂腐蚀不均匀导致芯片表面氧化层厚度不稳定，从而节约生产成本、减少质量事故。