公开/公告号CN211259458U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-08-14
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院沈阳自动化研究所;
申请/专利号CN201922360203.2
申请日2019-12-25
分类号
代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司;
代理人白振宇
地址 110016 辽宁省沈阳市沈河区南塔街114号
入库时间 2022-08-22 15:58:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-14
授权
授权
机译: 更有效的主动隔振系统null是至少具有以下特征的主动隔振系统:
机译: 半主动防振装置,半主动阻尼器装置,半主动刚度机制装置,减小的投射曝光装置及其半主动阻尼方法
机译: 作为主动隔振系统的零隔振系统