提高多晶硅生产中冷氢化工艺安全性的高压氮气保护装置

摘要

本实用新型公开了一种提高多晶硅生产中冷氢化工艺安全性的高压氮气保护装置，包括进气调节阀、氮气进气缓冲罐、切断阀、流化床反应器；所述进气调节阀通过管路与氮气进气缓冲罐连接，所述氮气进气缓冲罐的排气口一路经切断阀与流化床反应器连通，所述流化床反应器的排气口与废气处理单元连通。本实用新型能够能安全快速的将事故排除，大大增加流化床反应器的安全系数，减少了系统因异常情况下压力下降，造成的损失，保证了硅粉及浆料能连续稳定的输送，保证了整个系统平稳的运行。