公开/公告号CN1223859C
专利类型发明授权
公开/公告日2005-10-19
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN02136742.6
申请日2002-08-30
分类号G01P15/12;
代理机构上海智信专利代理有限公司;
代理人潘振甦
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 08:57:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-11-04
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2005-10-19
授权
授权
2003-09-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-06-25
公开
公开
机译: 集成压力传感器,具有双量程和高量程值
机译: 具有双量程和高量程值的集成压力传感器
机译: 集成压力传感器,具有双量程和高量程值