一种多晶硅片用具有硅片间分离结构的清洗设备

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅片用具有硅片间分离结构的清洗设备，包括主体和积液箱，所述主体内壁顶部焊接固定有输液管，且输液管内部通过键连接有单向加压阀，所述输液管下端设置有喷嘴，所述积液箱设置于主体内壁底部一侧，且积液箱的下端连接有出水管，所述积液箱上端焊接固定有固定侧板。该多晶硅片用具有硅片间分离结构的清洗设备，限位扣可将多晶硅片架起，且可实现多晶硅片的分离安置，确保多晶硅片逐个被清洗完全，同时第一电转轴运行，第一电转轴在固定轴承外侧转动，可带动传送带转动，对多晶硅片进行自动化传输，清洗液通过传送带内部开设的导液孔落入积液箱，由出水管导出，提高使用该清洗设备的便捷性。