纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统

摘要

本实用新型涉及一种纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统，包括壳体；壳体的一端固定有用于输入射频功率的射频功率输入接头和用于外界电源的航空接头；壳体内设有可调射频匹配电容C1、C2、C3，用于控制可调电容C3投切的电容切换开关，以及用于对输入的射频功率震荡用的起辉震荡驱动板；壳体的一端固定有气体输入端口，另一端安装有用于导入电和气的法兰；法兰上安装有电极组；电极组的气管一端通过细管与气体输入端口相连，气管的另一端通过第一电极接至绝缘放电室；绝缘放电室与气体输入隔离器相连；气体输入隔离器的圆周面上缠绕有射频功率感性负载；射频功率感性负载的一端接地，另一端接电极组的电极R端。