公开/公告号CN210388851U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-04-24
原文格式PDF
申请/专利权人 麦斯克电子材料有限公司;
申请/专利号CN201921139718.3
申请日2019-07-19
分类号B24B57/02(20060101);B24B57/00(20060101);F17D5/02(20060101);
代理机构41120 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙);
代理人罗民健
地址 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
入库时间 2022-08-22 13:29:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-24
授权
授权
机译: 抛光液组成的测量和/或控制方法,例如用于抛光硅片,涉及确定溶液分配过程中溶液组成的可能变化
机译: 一种抛光液,用于抛光组件,尤其是晶片,特别是用于化学-机械抛光此类结构元件的抛光液
机译: 抛光硅片的方法和相应抛光液的描述