公开/公告号CN104195551B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院合肥物质科学研究院;
申请/专利号CN201410451960.X
申请日2014-09-05
分类号C23C28/00(20060101);G01N21/65(20060101);
代理机构34118 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人任岗生
地址 230031 安徽省合肥市蜀山湖路350号2号楼1110信箱
入库时间 2022-08-23 09:42:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-28
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 28/00 授权公告日:20160615 终止日期:20170905 申请日:20140905
专利权的终止
2016-06-15
授权
授权
2016-06-15
授权
授权
2015-01-07
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C28/00 申请日:20140905
实质审查的生效
2015-01-07
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 28/00 申请日:20140905
实质审查的生效
2014-12-10
公开
公开
2014-12-10
公开
公开
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