飞秒激光制备仿生超疏水微纳表面的方法及装置

摘要

本发明提供了一种飞秒激光制备仿生超疏水微纳表面的装置。该装置包括飞秒激光单元、光束控制单元、运动平台单元和自动化控制单元；飞秒激光单元用于发射飞秒激光；光束控制单元用于控制飞秒激光的功率、光束质量和曝光时间；运动单元用于控制被光刻表面在三维方向上的移动量；飞秒激光单元设置在光束控制单元的后方，光束控制单元设置在运动平台单元的上方，光束控制单元和运动平台单元分别与自动化控制单元相电连接。本发明还提供一种飞秒激光制备仿生超疏水微纳米表面的方法，其使用上述的装置。本发明利用飞秒激光烧蚀作用一次形成类似荷叶表面的微纳复合结构，不需要二次造型，工艺简单，微纳结构稳定，均匀性好，疏水功能强。