晶圆冷却装置及采用该晶圆冷却装置的光刻机

摘要

本实用新型提供一种晶圆冷却装置及采用该晶圆冷却装置的光刻机，至少包括：箱体，所述箱体的前后位置分别设有前开合门和后开合门，与所述箱体活动连接；排气孔，设置于所述箱体底面或侧面；吹扫气体系统，设置于所述箱体顶部，所述吹扫气体系统至少包括吹扫板和与所述吹扫板连接的、为所述吹扫板提供吹扫气体的进气管，所述吹扫板上开设有若干个与箱体内腔贯通的出气孔；冷盘系统，设置于所述箱体底部，所述冷盘系统至少包括盘面和位于盘面下的冷却水管。通过增加吹扫气体系统，清除晶圆表面灰尘的同时增加晶圆表面的空气流动，提高晶圆冷却速度，从而进一步提高晶圆的传送速率，增加光刻机产能。