基于二自由度压电作动器的精密工作台及对应压电作动器

摘要

一种基于二自由度压电作动器的精密工作台，本申请工作台面的两侧各有一个侧板，所述工作台面两侧的侧板下方各有一个滚子滑轨，滚子滑轨的槽内放有滚子，滚子滑轨两端弯折部与侧板外壁相连，固定套筒固定在工作台面底部，固定套筒内有压力传感器，压力调节螺钉穿过工作台面抵住压力传感器后端，振子顶部有固定轴，固定轴通过键安装在过固定套筒底部的插孔内，振子的四个弯折端的下方有对应的驱动足，压紧螺钉穿过压盖将成对的压电陶瓷片固定安装在对应振子的弯折端的斜面上。本申请工作台基于二自由度压电作动器，单个压电作动器即可输出二自由度驱动力，并且移动台只需一个，结构简单紧凑，具有非常好的应用前景。