一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器及传感器阵列

摘要

本实用新型公开了本实用新型公开了一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器，包括依次层叠设置的硅衬底、支撑膜、加热电阻、隔离膜和检测电极，所述支撑膜用以提供整体支撑作用，加热电阻用以提供工作所需的温度，隔离膜将加热电阻及检测电极进行电隔离，检测电极用以检测电阻变化；该传感器具有基体结构和悬臂结构，该悬臂结构的端部为卷曲状，且其上设有气敏材料。本实用新型还提供了一种由具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器组成的传感器阵列。本实用新型的优点在于，该传感器功耗低、尺寸小、集成度高，生产工艺简单，易于定位，有效提高了生产效率。