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公开/公告号CN102656680B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-06-22
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201080056623.0
发明设计人 迈克尔·布鲁格;奥托·洛奇;迪特马尔·哈默;
申请日2010-12-02
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人李献忠
地址 奥地利菲拉赫
入库时间 2022-08-23 09:41:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-22
授权
2012-10-31
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20101202
实质审查的生效
2012-09-05
公开
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