用于浸没式光刻机的两级气液分离回收装置

摘要

本实用新型涉及一种用于浸没式光刻机的两级气液分离回收装置。本实用新型包括气液分离器、气液分离罐、液体流量控制器、气体和液体分离前的两相流回路、气体和液体分离后的排气回路、气体和液体分离后的排水回路；气液分离器与气体和液体分离前的两相流回路、气液分离罐上部入口相连，气液分离罐与气体和液体分离后的排气回路、液体流量控制器的入口相连，液体流量控制器、气液分离器合与气体和液体分离后的排水回路相连。本实用新型能够在负压抽吸的作用下对气液两相流实现连续的分离过程，并且较之前的解决方案在分离回收的效率和效果上均有明显的提升。同时避免了对系统负压造成的干扰，且能在故障条件下将系统内的气体和液体排出及时泄压。