一种检测单晶硅生产中环境清洁度的工装

摘要

一种检测单晶硅生产中环境清洁度的工装，该工装包括一环境颗粒计数仪和采样机构，采样机构包括连接在环境颗粒计数仪气体进口上的稳流管和加装在稳流管自由端的集气罩。使用集气罩后，实现了环境气流平稳、规律的进入环境颗粒计数仪，消除了由于气流扰动造成的误判及检测数据显著偏差等缺点；加长的稳流管延长了气体进入环境颗粒计数仪的时间，保证了气流有更加充足的时间形成稳态气流，消除乱流造成的检测偏差、数据可信度不高的问题，最终平稳、缓慢、均匀的到达环境颗粒计数仪；经大量、多次试验验证，其数据一致性、稳定性、准确性明显高于使用传统取样口取样探头结构的环境颗粒计数仪所检测的数据。