一种新的激光制氮化硅粉末的方法及装置

摘要

一种激光制备氮化硅粉的方法，及使用该方法制备化硅粉的系统装置。本发明的优点是采用多个不同波段的光源对多种反■体同时■激励。在制备氮化硅粉时，采用红外光紫外光。利用本发明的方法制作的一套激光制氮化硅粉的系统，主要有、光源、供气装置、合成腔、收集装置、测混装置、尾气处理，数据采集与控制等部分。