公开/公告号CN206494724U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-09-15
原文格式PDF
申请/专利权人 意法半导体股份有限公司;
申请/专利号CN201621103386.X
申请日2016-09-30
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华
地址 意大利阿格拉布里安扎
入库时间 2022-08-22 02:59:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-15
授权
授权
机译: 具有聚合物层的MEMS器件,具有聚合物层的MEMS器件的系统,制造具有聚合物层的MEMS器件的方法
机译: 具有聚合物层的MEMS器件,具有聚合物层的MEMS器件的系统,制造具有聚合物层的MEMS器件的方法
机译: 具有聚合物层的MEMS器件,具有聚合物层的MEMS器件的系统,具有聚合物层的MEMS器件的制造方法