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对超测量源表范围的漏源击穿电压进行测量的装置及方法

摘要

一种对超测量源表范围的漏源击穿电压进行测量的装置及方法中,由第一源-测量单元在0≤U

著录项

  • 公开/公告号CN103364694B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-06-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;

    申请/专利号CN201210081754.5

  • 发明设计人 王磊;

    申请日2012-03-26

  • 分类号

  • 代理机构上海信好专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人张静洁

  • 地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

  • 入库时间 2022-08-23 09:40:27

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-06-01

    授权

    授权

  • 2014-08-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/12 申请日:20120326

    实质审查的生效

  • 2014-04-23

    专利申请权的转移 IPC(主分类):G01R 31/12 变更前: 变更后: 登记生效日:20140402 申请日:20120326

    专利申请权、专利权的转移

  • 2013-10-23

    公开

    公开

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