公开/公告号CN206052139U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-03-29
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州京浜光电科技股份有限公司;
申请/专利号CN201621015807.3
发明设计人 范辛;
申请日2016-08-31
分类号
代理机构常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙);
代理人康潇
地址 215501 江苏省苏州市常熟经济开发区高新技术园柳州路7号
入库时间 2022-08-22 02:19:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-29
授权
授权
机译: 真空蒸镀膜的厚度检测装置及真空蒸镀装置
机译: 连续真空蒸镀装置的气相蒸镀膜的厚度控制装置
机译: 真空蒸镀装置,蒸镀膜的制造方法以及有机电子设备的制造方法