一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置

摘要

一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置，涉及一种离子镀设备的辅助装置，其特征在于，所述装置包括炉体（1）、靶座（2）、弧源磁场控制的元件（3）；炉体（1）的下部设有靶座（2），靶座（2）上对称的设有两个通管，两个通管中间设有外部为六棱柱形状柱体，该柱体为弧源磁场控制的元件（3），柱体内部为带有内螺纹的通孔，该六棱柱形状柱体与炉体采用螺纹连接，连接端带有外螺纹。该装置将原有的直圆柱形弧源磁场控制的元件制成成六棱柱形状弧源磁场控制的元件，用六边形扳手对阴极弧源磁场控制元件进行拆卸，更为方便、快捷、可靠，六棱柱形状可以方便进行拆卸。