闩锁机构及具有该闩锁机构的晶圆盒

摘要

一种闩锁机构及具有该闩锁机构的晶圆盒，闩锁机构设置于一门体内用以将门体锁固于一盒体，闩锁机构包含一顶撑件、一闩锁件，及一凸轮件，顶撑件设置于门体内，闩锁件包括一板体及至少一接触部，板体包含一后侧面、一顶抵板部及一连接板部，接触部设置于后侧面且邻近于顶抵板部，接触部用以接触顶撑件并可被顶撑件向前顶撑，顶撑件与接触部其中之一为一滚轮而其中另一为一凸块，凸块具有一用以接触滚轮的斜面，凸轮件可转动地枢接于门体并连接于连接板部，凸轮件用以带动闩锁件滑动至接触部被顶撑件向前顶撑的一锁定位置，以使顶抵板部顶抵于盒体的一前侧缘。借此，避免粉尘污染承载空间内的晶圆；提升使用上的方便性，以及操作上的可靠度。