公开/公告号CN205317376U
专利类型实用新型
公开/公告日2016-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 天津市金超利达科技有限公司;
申请/专利号CN201521096774.5
发明设计人 唐广勇;
申请日2015-12-24
分类号
代理机构
代理人
地址 300000 天津市滨海新区华苑产业区鑫茂科技园综合楼五层512室
入库时间 2022-08-22 01:26:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-09
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01K17/06 授权公告日:20160615 终止日期:20161224 申请日:20151224
专利权的终止
2016-06-15
授权
授权
机译: 可调节的电子束限制孔径使高通量和高灵敏度的电子束检测柱成为可能
机译: 单热量表,主要用于散热器
机译: 一种制备部分单次电子束曝光掩模的方法和一种使用该部分单次电子束曝光掩模直接绘制图案的方法。