一种CZ直拉法大直径单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种CZ直拉法大直径单晶炉，属于CZ直拉法大直径单晶炉的制造领域。本实用新型包括侧开式副室、炉筒和晶体提升机构，侧开式副室为一体式结构；副室主体与门板相配合的侧面开口上设有一圈密封圈，该密封圈包括密封圈本体和弧形凸起，密封圈本体的一侧面上设有弧形凸起，副室主体与门板相配合的侧面开口上设有一圈密封圈槽，密封圈上的弧形凸起嵌入上述密封圈槽内；炉筒位于侧开式副室的下方且炉筒内部与侧开式副室内部相连通，侧开式副室下部设有隔离阀，晶体提升机构安装于侧开式副室的上方。本实用新型主要解决了现有单晶炉副室因机械加工不足造成的密封漏气情况。