法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-10
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G09B23/30 授权公告日:20151202 终止日期:20170823 申请日:20150823
专利权的终止
2015-12-02
授权
授权
机译: 扁平型等离子诊断设备件型等离子诊断设备,配备平面等离子诊断设备静电卡盘嵌入平面等离子体诊断系统中。 本研究是一种材料创新计划(NRF)材料创新计划(1711120490 / 2020M34A3106004),由科学和技术信息和通信部门提供支持。委托为51%)韩国国家科技研究协会(NST)研发 同盟计划(1711062007 / CAP-17-02-NFRI-01)由Kriss支持。
机译: 一种用于在热处理过程中产生影响工件影响的消烟剂的设备
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