公开/公告号CN204612668U
专利类型实用新型
公开/公告日2015-09-02
原文格式PDF
申请/专利权人 北京同生科技有限公司;
申请/专利号CN201520283095.2
申请日2015-05-05
分类号
代理机构北京中创阳光知识产权代理有限责任公司;
代理人尹振启
地址 100070 北京市丰台区科兴路7号148室(园区)
入库时间 2022-08-22 00:47:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-02
授权
授权
机译: 用于测量物体的膜厚的装置,用于测量物体的光谱反射率的装置和方法以及用于精确测量在物体上形成的膜厚的物体的杂质的装置和方法
机译: 直列式涂膜机和薄片船的膜厚检测方法
机译: 光谱椭偏仪的焦距调整方法,膜厚测量装置和光谱椭偏仪