一种产水电阻率大于18MΩ·cm的超纯水装置

摘要

本实用新型公开了一种产水电阻率大于18MΩ·cm的超纯水装置，其特征在于，包括：二级RO水箱（1）；脱气膜装置（3）；UV元件（2），其安装于二级RO水箱与脱气膜装置之间的输送管路；EDI装置（4），其接于脱气膜装置的出口端；氮封水箱（5），其接于EDI装置的出口端；抛光混床（6），其接于氮封水箱的出口端；终端超滤器（8），其安装于超纯水设备的末端；UV杀菌装置（7），其安装于抛光混床与终端超滤器之间的输送管路；所述终端超滤器与氮封水箱之间设有循环回路管道。本实用新型的有益效果是：由于整套系统中增加185UV除TOC装置和脱气膜装置，并且循环回路管道采用PVDF洁净管道，保证超纯水的所有用水点水质大于18MΩ·cm。