公开/公告号CN202860943U
专利类型实用新型
公开/公告日2013-04-10
原文格式PDF
申请/专利权人 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;
申请/专利号CN201220429499.4
申请日2012-08-27
分类号
代理机构北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王伟锋
地址 101101 北京市通州区滨河路108号
入库时间 2022-08-21 23:45:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-14
专利权的转移 IPC(主分类):B08B9/087 登记生效日:20190527 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移
2013-04-10
授权
授权
机译: 电阻加热的热解氮化硼涂层石墨舟,用于金属蒸发
机译: 用于熔化固体形式的金属合金的装置包括冷熔坩埚,石墨或陶瓷坩埚以及用于将冷熔坩埚中的熔体转移到石墨或陶瓷坩埚中的单元
机译: 使用电阻加热的热解氮化硼涂层石墨舟蒸发金属的方法