一种基于PZT与平行平板扫描倒锥孔的激光加工装置

摘要

本实用新型公开了一种基于PZT与平行平板扫描倒锥孔的激光加工装置，包括一个激光器和一个待加工的工件，在所述激光器出射激光束面上设有一块偏振分光棱镜，与偏振分光棱镜反射的激光束相对应处设有一个PZT光学平台，在PZT光学平台与偏振分光棱镜之间以及偏振分光棱镜的下方分别设有四分之一波片；偏振分光棱镜的下方间隔四分之一波片依次垂直分布有平行平板、聚焦物镜和工件。该装置能够驱动PZT光学平台运动实现出射光束扫描出圆轨迹，通过倾斜设置的平行平板与PZT光学平台同步运动，可实现光束产生一定的横向位移，从而实现微米级孔径的倒锥孔加工。