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用于高温炉的排气管道和高温炉

摘要

本实用新型提供一种用于高温炉的排气管道和高温炉,所述高温炉包括一高温腔室,所述排气管道包括第一管道和第二管道,所述第一管道与高温腔室连通,所述第二管道与第一管道连通,所述第二管道的内径大于第一管道的内径。通过使第二管道的内径扩大,在排气管道增加成本最少的前提下,使得排气管道可承载杂质的空间加大,从而降低了排气管道的更换和清洗频率,提高了生产效率,降低了生产成本。

著录项

  • 公开/公告号CN201915142U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2011-08-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201020664208.0

  • 发明设计人 杨志平;

    申请日2010-12-16

  • 分类号C23C16/455(20060101);

  • 代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人屈蘅;李时云

  • 地址 201203 上海市浦东新区张江路18号

  • 入库时间 2022-08-21 23:20:54

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-12-06

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C16/455 授权公告日:20110803 终止日期:20181216 申请日:20101216

    专利权的终止

  • 2013-04-24

    专利权的转移 IPC(主分类):C23C16/455 变更前: 变更后: 登记生效日:20130407 申请日:20101216

    专利申请权、专利权的转移

  • 2011-08-03

    授权

    授权

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