一种MEMS麦克风

摘要

本实用新型提供一种MEMS麦克风，其包括ASIC芯片和MEMS声学芯片，所述ASIC芯片包括输出端、电源端和接地端，并且，所述ASIC芯片的电源端与接地端之间连接有第一滤波电路；所述ASIC芯片的输出端与接地端之间连接有第二滤波电路。本实用新型可以有效地阻止电源信号的噪声波动以及外界RF信号通过电源端和输出端对ASIC芯片造成的影响，从而大幅度的提高MEMS麦克风的PSR性能以及抗RF性能结构简单；并且本实用新型结构简单、成本低廉，不会对MEMS麦克风的制造增添额外的工艺和成本负担。