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在虚拟量测中使用适应性预测算法及决定何时使用适应性预测算法的方法及设备

摘要

本文在此描述用于决定虚拟量测的适应性预测算法的方法、装置和系统。在一些具体实施例中,一种计算机可实施方法识别多个预测算法。该方法决定:何时使用多个预测算法的一个或多个来预测在制造设备(manufacturing?facility)中的一或多个虚拟量测变量。

著录项

  • 公开/公告号CN102763048B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-05-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 应用材料公司;

    申请/专利号CN201180009965.1

  • 发明设计人 詹姆士·莫尼;

    申请日2011-02-15

  • 分类号

  • 代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;

  • 代理人徐金国

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2022-08-23 09:38:39

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-05-04

    授权

    授权

  • 2013-03-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 23/02 申请日:20110215

    实质审查的生效

  • 2012-10-31

    公开

    公开

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