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石英管壁厚光电在线检测系统

摘要

本实用新型公开了一种石英管壁厚光电在线检测系统,包括用于产生线形光束的激光发射系统、用于接收并检测经过待测石英管的管壁反射的光束的CCD测量系统和用于对CCD检测到的光束进行计算并得出石英管的管壁厚度的计算处理系统。本实用新型通过激光扫描技术和CCD检测技术的结合,实现了对石英管壁厚的高速、非接触的实时测量,满足了石英管生产过程中对壁厚测量的要求。

著录项

  • 公开/公告号CN201281587Y

    专利类型

  • 公开/公告日2009-07-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 徐熙平;

    申请/专利号CN200820072683.1

  • 发明设计人 徐熙平;张国玉;苏拾;

    申请日2008-10-31

  • 分类号

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 130022 吉林省长春市卫星路7089号长春理工大学光电工程学院

  • 入库时间 2022-08-21 23:04:17

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-01-05

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B11/06 授权公告日:20090729 终止日期:20091130 申请日:20081031

    专利权的终止

  • 2009-07-29

    授权

    授权

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