法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-09-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):A61B6/04 授权公告日:20090422 申请日:20080728
专利权的终止
2009-04-22
授权
授权
机译: 用于ULSI光刻的电子束直接写入系统,具有方便的发射图案旋转和增益校正,以及用于该系统的电子束直接写入方法
机译: 电子束直接定位的定位标记
机译: 用于ulsi光刻的直接电子束文件的布置,具有简单的旋转-以及照射图案和电子束的放大调整-直接文件方法